現(xiàn)貨 ULVAC 愛發(fā)科 熱陰極電離真空計

• 操作性的提高：通過與PC/智能手機(jī)的連接，可以進(jìn)行設(shè)定點(diǎn)設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等。

• 燈絲壽命通知功能：通過監(jiān)測燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。

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• 可連接到不同的測量范圍：復(fù)合電離真空計可以根據(jù)工藝選擇測定子。

• 小型化：與之前的產(chǎn)品相比，實(shí)現(xiàn)了尺寸的大幅縮小（控制器體積縮小56%），成為同級別最小的產(chǎn)品之一。

用途

• 用于有機(jī)EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認(rèn)以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認(rèn)

• 用于在含有多種碳?xì)浠衔铮ㄓ皖悾┑沫h(huán)境中進(jìn)行測量

• 用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進(jìn)行測量

• 用于需要降低測定子更換頻率的真空設(shè)備

• 規(guī)格

• 型號		ST200-A	ST200-R	ST200-E （即將上市）
  規(guī)格		標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格	串口通信規(guī)格	EtherCAT規(guī)格
  適應(yīng)多離子傳感器		SWT-16(NW16), SWT-25(NW25)
  可以連接的傳感器		多離子傳感器：1本 皮拉尼真空計SWU10-R：1本（可選） 大其他傳感器SAU：1本（可選）
  測量精度（N2）		ST200本體模式：±2％
  取樣時間		60ms 5
  測定値出力		出力電壓 DC 0～10V　LOG出力 0.75V/1桁 圧力換算公式　V=7.25+0.75×(LogP-2)　P=10^
  更新時間		60msec
  控制輸入信號		FIL ON/OFF, DEGAS ON/OFF 打開集電極動作、負(fù)邏輯	-	-
  制御出力信號		傳感器錯誤，設(shè)定點(diǎn)1/2/3, 有效排放,燈絲電力監(jiān)控 定格：24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V	-	-
  串行通信規(guī)格		-	RS232C/RS-485	EtherCAT
  LED顯示		POWER/ERROR： 電源、LED ERROR (閃爍狀態(tài)根據(jù)各種模式變化)
  發(fā)射電流		2mA (1×10-2Pa以下), 10μA (1×10-2Pa以上)
  DEGAS		電子轟擊脫離方法（電子轟擊）1mA、330V
  測量部耐圧性		2×10+5Pa （絕對壓力） * 需要單獨(dú)考慮法蘭和夾具等的耐壓性
  傳感器內(nèi)部容量		17cm3(SWT-16), 19cm3(SWT-25)
  使用溫度范圍		10～50℃
  使用濕度范圍		15～80%(不結(jié)露)
  保管溫度		-20～65℃(非通電時、不結(jié)露)
  IP保護(hù)等級		IP30
  電源電壓		DC20～28V (波紋，噪音1%以下)　 8W以下
  輸入/輸出連接器		D-sub15銷（M2.6螺絲）
  重量		調(diào)節(jié)器：約280g　測定子(M-44, M-45)：80g, (M-46): 300g
  外形尺寸 W×D×H		69mm×63mm×90mm (控制器部分)

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